1468章 超級機器！

  其實差不多半年前的時候米國那邊也是召開了光刻技術展覽會，在展覽會上米國的光刻機光源科技公司Cymer公司研製的離子束光源展示的技術成果隻能是做到55瓦，雖然說光源波長比瑞星科技公司公司的波長要短，能做到22納米，但是因為功率低，現階段來說是無法真正投入實用的。


  這次瑞星科技公司卻是率先將這種激光光源做完全做到了實用化，也就是說在光源係統上已經領先於米國的這家Cymer公司。


  這也意味著瑞星科技公司公司即將推出的新型光刻機可以將製程工藝做到10納米以下，這對整個半導體業界來說都是一件極為重大的事情！


  此時坐在台下的爾英特集團公司的代表和艾斯摩爾公司的代表臉色都是非常難看。


  瑞星科技公司公司的光源係統在華興科技集團公司以及中科院的加持下一直研發氮化镓半導體固態激光光源，因為這套光源技術裏麵的核心技術和材料都是國內獨有的，而且華興科技集團公司一直在玩大功率的激光光源，而且也是將高功率脈衝電源技術也給用了進去，前幾年就研製出了高達500千瓦的高能激光光源，通過幾年的測試改進，也是移植到了光刻機的光源係統上，所以在光源係統上的研發是很順利的。


  華興科技集團公司從一開始就開始玩半導體激光，一開始從激光讀寫頭開始玩起，後來開始玩半導體激光光源波長最短的氮化镓激光光源，並且利用國內在非線性光學晶體材料上的絕對技術優勢玩激光倍頻技術，瑞星科技公司公司自然在光刻機光源係統上能得到最好的技術成果。


  光刻機是用來幹活的，客戶有著強烈的產能的需求，在相同的曝光量下，光源的功率越高，曝光需要的時間越少，這樣單位時間裏麵產能越高。


  再加上要得到這樣高功率的極紫外光，需要功耗極大的激光器，電能轉化為激光時也是變為了熱量損耗掉了一大部分，其次修正光的前進方向時，每一次反射仍會損失3成能量，經過十幾麵反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概隻能剩下不到2%的光線。


  被吸收的能量必須要用大功率散熱係統進行冷卻，而激光器本身工作時候會產生很大的熱量，也是需要一套優良的散熱冷卻係統，才能保證機器正常工作，可以說是不折不扣的耗能大戶。


  不誇張的說，現在華興科技集團公司在半導體激光技術領域成了全世界絕對的技術霸主。


  這之前三陽光學公司研製出可以長時間經受住極紫外光光源照射破壞的鍍膜材料已經可以承受住波長在25納米極紫外光光源照射的反射鏡鏡頭裝置，不過這次瑞星科技公司並沒有使用25納米的深紫外光源，因為華興科技集團公司的半導體材料公司這兩年研製出來的光刻膠才能承受住35納米的深紫外光的輻射損傷。


  為了攻克這些世界級的難題，三陽光學公司這些年技術團隊那是沒日沒夜地用時間和不斷地實驗改進材料和加工工藝一點點地將這些硬骨頭給啃下來的。


  盡管艾斯摩爾公司可以得到米國國內最好的極紫外光刻機需要的最好光源和計算光刻等方麵的應用服務，而且提前兩年推出了極紫外光刻機的原型機，但是瑞星科技公司公司卻是上下一心，硬是靠著砸錢砸人砸時間將極紫外光刻機研發樣機開始投入正式地開始投入實用化。


  去年的時候艾斯摩爾公司才推出了第一台研發用的樣機。


  何玉光在介紹完光源係統和鏡頭組後說道：“這次我們推出的新型雙工件台也是使用了不少的新技術，使用了更高精度的測溫傳感器和新的冷卻係統，可以將工件台內部穩定控製在千分之五度以內，另外也是使用了新型的磁懸浮軸承係統和高精度的激光測距定位係統，保證工件台的同步精度可以做到2納米以內，讓對焦係統的精度達到了一個全所未有的水平。”


  “我們為了提高光刻機的良率也是特地開發了一套智能係統來幫助提高光刻機的對焦係統的對焦精度和準確率，並且幫助客戶來提高套刻精度，最大限度地減少誤差，並且能夠在加工過程中對出現缺陷的工藝進行報警提示，避免加工過程裏麵出現大規模的殘次品，減少客戶的損失。”


  瑞星科技公司公司這麽多年來通過光刻機在晶圓廠的實際運作中也是獲得了海量的數據，之後也是導入人工智能係統，可以在晶圓製造的過程當中通過檢測係統就能將有問題的晶圓給檢測出來。


  “……”


  聽到何玉光的話，艾斯摩爾公司這次過來的這位代表差點站起身來！


  該死的，他們竟然在光刻機產品裏麵導入了人工智能技術，這還怎麽玩！

  此時台下也是一陣躁動，他們也是沒想到瑞星科技公司公司竟然爆出了這麽驚人的一個消息出來！

  “各位，我們研發的這套人工智能輔助係統可以大幅提升良率，提高晶圓廠技術人員的工作效率，我們公司內部也是進行了大量的測試驗證，證明這套智能輔助係統對晶圓廠的成本、良率、產出都有非常不錯的提升效果。”


  何玉光開口說道。


  在進行了一係列的技術成果介紹後，何玉光也是展示了即將要麵世的極紫外光刻機產品圖樣。


  “這款極紫外光刻機我們將在明年年初正式地向國內外的客戶開始供貨，同時也歡迎大家前來谘詢了解。”


  到最後何玉光也是沒有公布這款極紫外光刻機的價格，這個事情也是讓台下的眾人心癢難搔。


  瑞星科技公司公司在這次正式地宣布推出極紫外光刻機，但是卻不公布價格，難道大家要等大半年才能知道這款超級機器的價格？

  對於瑞星科技公司的這款極紫外光刻機技術先進性已經是沒有人懷疑了，因為這家公司做光刻機做了十來年，大量的晶圓廠都在使用這家公司的光刻機產品，這個是不爭的事實。


  現在大家關心的點是這款超級機器定價是多少，尤其是艾斯摩爾公司的這些代表非常關心，如果瑞星科技公司公司要是定出一個低價，那麽這對這家公司來說可以說是一個致命的打擊！