1413章 激光倍頻技術！

  鷹醬針對華興科技集團公司的製裁持續了接近兩年，不過兔子高層對此並沒有袖手旁觀，雖然沒有明麵上要對鷹醬國內的這些科技公司提出製裁，不過暗地裏那也是下了狠手的，也是打疼了這些公司。


  鷹醬對於自己集全國之力對付華興科技集團公司這一招竟然沒有奏效後其實也是嚇到了不少的國家和很多的科技公司。


  楊傑作為一個技術狂，自己本身就精通半導體科技，最開始的時候機緣巧合得到了譚雲鬆這支技術團隊和一座先進的晶圓廠，同時還得到霓虹國很多的在半導體產業上的設備和技術，那還不玩命地補上自己的技術短板和產業鏈，甚至從牙縫裏擠出錢來開始搞光刻機這個項目，他本人甚至親自上陣幫助技術團隊搞光刻機的研發，並且率先搞出了沉浸式光刻機。，甚至比阿斯麥推出的浸入式光刻機還要早上兩年。


  因為瑞星科技公司一開始是仿製，並且這種沉浸式光刻機其實技術難度並不是特別大，屬於小改進大效果，產品成熟度非常高，成功地將193納米的光源波長折射成了134納米，翻越了157納米的技術大關，直接保證了中晶微可以直接將製程工藝可以做到65納米，並且瑞星科技公司不斷地改進鏡頭，而華星半導體材料技術公司不斷地改進光刻膠，中晶微也是不停地改進製程工藝，保證了製程工藝不斷地提升。


  當然，瑞星科技公司自己研製的光刻膠一開始也是出現這樣那樣的技術問題，不過中晶微和華越電子以及華晶采購量都不小，而且能夠忍受一開始這些設備的問題，而瑞星科技公司則是不斷地解決這些問題，並且不斷地提升設備技術性能。


  發展到現在，國內也是建立起了光刻機的產業鏈，華興科技集團公司自己掌握了光刻機的幾個核心關鍵係統，剩下的多個子係統也是分別交給了國內的科研所進行試製生產。


  因為國內這些年投產的晶圓廠數量很多，瑞星科技公司光是光刻機每年的產能都是在接近200台，基本上占到了全球光刻機市場的百分之五十的市場份額，市場主要集中在國內，也是靠著國內市場發展起來的。


  剩下的光刻機市場基本上是被阿斯麥公司的光刻機給瓜分了，主要的客戶主要是集中在南韓和鷹醬和灣灣這些晶圓廠。


  現在基本上是已經形成了這樣的市場格局，雖然國內在光刻機市場還有金山微電子這家國家選手，而且也能從國內的光刻機產業鏈得到很好的零部件，不過在係統集成和產品性能上還是不足的，產量很少。


  不過這不代表瑞星科技公司就可以鬆懈下來，因為阿斯麥公司現在正在包括南韓和鷹醬幾家晶圓大廠的扶持下搞極紫外光刻機的研發試製呢。


  其實極紫外光刻機的理論研究在十多年前就組建了一個技術聯盟，這個聯盟主要是英特爾聯合鷹醬國內的幾個國家實驗室搞起來的，這個聯盟裏麵的科學家發表了幾百篇論文，驗證了極紫外光刻機的可行性。


  雖然這個技術聯盟解散了，不過阿斯麥公司當年在收購鷹醬國內這家光刻機製造商矽穀集團後算是買到了一張進入鷹醬國內光刻機市場的門票，順理成章地成為了半個鷹醬國內的公司，享受到鷹醬國內強勁的基礎科學帶來的巨大好處，這個也是為這家公司在開發極紫外光刻機上麵得到了非常多的技術加持。


  當然，鷹醬國內的外國投資委員會最終在收購協議上加了一堆條件，其中包括不許收購矽穀集團公司負責打磨鏡片的子公司，並且保證各種技術和人才留在鷹醬的國內。


  因為阿斯麥可以得到鷹醬國內最好的極紫外光刻機需要的最好光源和計算光刻等方麵的應用服務，這個也使得阿斯麥在四年前就推出了極紫外光刻機的原型機，甚至比瑞星科技公司的深紫外光刻機原型機還要提前兩年。


  不過瑞星科技公司公司和阿斯麥在光源技術上選擇是截然不同的，瑞星科技公司選擇的光源是氮化镓半導體固態激光光源，而阿斯麥選用的是Cymer公司研製的離子束光源。


  這種離子束光源主要是通過利用高功率的二氧化碳激光器以高頻脈衝的方式轟擊光源內的錫液滴靶丸產生極紫外光源輻射，反射光學係統直接將光射向需要刻蝕的矽晶圓。


  這家公司在上世紀八十年代起就開始玩氣體激光光源技術用在芯片生產上麵，在這方麵玩得非常溜。


  不過華興科技集團公司從一開始就開始玩半導體激光，一開始從激光讀寫頭開始玩起，後來開始玩半導體激光光源波長最短的氮化镓激光光源，並且利用國內在非線性光學晶體材料上的絕對技術優勢玩激光倍頻技術。


  其實國內在玩激光倍頻技術上是世界領先的，很早就實現了激光六倍頻技術，華興科技集團公司利用這種激光倍頻技術在實驗室裏麵很早就研製出了波長隻有6納米的極紫外光光源。


  隻不過這種極紫外光光源破壞力實在是很大，瑞星科技公司公司也不可能直接使用這種光源，隻能是等到三陽光學公司研製出可以長時間經受住極紫外光光源照射破壞的鍍膜材料。


  這種鍍膜材料要用到零膨脹材料，並且還不能吸收紫外光光源能量，其難度之大簡直眾多的科學家和工程師頭皮發麻。


  不過楊傑在這方麵那是真的舍得砸錢的，而且三陽光學公司這些年也是一直在為瑞星科技公司公司提供光刻機的鏡頭組，同時也為不少的大科學裝置提供各種高精尖的光學設備，技術研發上就從來沒有停過，所以現在已經能提供能夠長時間經受住波長在25納米極紫外光光源照射的反射鏡鏡頭裝置了。


  所以現在瑞星科技公司公司選用的是四倍頻激光技術的氮化镓半導體固態激光光光源。


  如果在技術層麵上來說的話瑞星科技公司公司在極紫外光刻機水平跟阿斯麥差不多是處於同一水平的。


  不過楊傑是想率先搶在阿斯麥之前將極紫外光刻機實現量產，所以在跟胡煥誌談到華興科技集團公司還要加碼技術研發上首先就提到了極紫外光刻機研發進度的事情。