第630章 造不如買
既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件台技術上取得了突破，蘇遠山接下來可就真有點坐不住了。
??但他太了解曲慧了。
??這姐妹兒，幹練豪爽不說，還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子，那自己怎麽問都是沒個結果的。
??好在一小時並不長，當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper後，時間便迅速流逝起來。
??嗯，主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。
??……
??一小時後，曲慧與鄭振川如約而至。
??“鄭叔，慧姐，好久不見。”蘇遠山早已在客座沙發旁等著，就連茶都已經準備好了。
??“嗯，是有不少時間了。”曲慧出乎意料地留了頭發，還梳了個馬尾，脖子上圍著絲巾。她笑嗬嗬地坐到蘇遠山對麵。
??“這下可以說了吧，到底是什麽驚喜——別讓我猜啊。”
??“其實就是工件台成了。”曲慧一副雲淡風輕的表情，端起茶杯吹了口氣後笑眯眯地道：“你猜到了是吧？”
??“你和鄭叔一起過來，不是光刻機的事還能是啥？”蘇遠山一攤手，笑道：“讓我幹等了一個小時，再驚的喜也給整沒了。”
??“害！我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了，周小慧呢？”
??“不知道，估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來，她去接待一下。”蘇遠山頓了頓，望向鄭振川：“鄭叔，別告訴我，你們已經將工件台用在光刻機上了。”
??“哈哈，當然沒有。”
??鄭振川放下茶杯，衝蘇遠山樂道：“你先聽小曲的，等會我再說。”
??“嗯……”蘇遠山聽到鄭振川這語氣，頓時心中多了幾分“警惕”起來。
??這老爺子，語氣聽起來不對呐！
??感情這次不是單純的“報喜”，似乎還有套等著自己。
??不過他依舊不動聲色，整個人放鬆了姿勢：“曲慧姐，你說，工件台到底怎麽樣了。”
??“成了，但有點麻煩。”曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少，此刻也不開玩笑，正色了起來：“你知道的，製約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。”
??蘇遠山點頭：“嗯，不用你說，我就算再不懂機械也知道。”
??“精度的最大問題又會最終落在電機控製，材料，加工精度上。”曲慧抿著嘴，慢慢道。
??“雙工件台的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來，原理就是把在曝光過程中處於等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件台曝光，一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢，就可以不用再測量對準，從而直接就可以移動平台，然後曝光。”
??“根據我們的估計，在目前的工藝水平下，采用雙工件台除了可以提高30%以上的效率之外，還可以略微提高精度——別的不說，10%起碼有的。”
??蘇遠山再次點頭：“然後呢？”
??“我們這次取得的突破，是在運動定位模塊和流程控製係統上。”
??蘇遠山聽得眉毛一揚！
??他哪怕對雙工件台的設計和原理再不懂，他也知道，實現雙工件台最困難的地方便是運動定位係統，是真正的“牽一發動全身”“差之毫厘，謬之千裏”。
??而且蘇遠山還知道，ASML的初代雙工件台，其實效率並不十分高，隻能說略有提升——就是因為控製係統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之後才正式宣判尼康和佳能死刑。
??雙工件台技術真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術誕生。隻有那樣，才能把誤差縮短到極限。
??但一切的前提還是控製係統。
??那麽……既然都已經取得突破了，還有什麽麻煩？
??“那麻煩在哪？”
??“麻煩在於，我們目前隻能實現0.5微米的精度。”曲慧緊縮著眉，凝望著蘇遠山道：“而且，精度越高，摩擦係數和阻尼作用就越強。我有點擔心，它在未來能不能追上光刻機的步伐。”
??“我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件台無法用在最先進的光刻機上，那它的意義就少了許多。”
??“還有一點，我們目前的工業基礎，隻能允許我們做到這個極限。”
??蘇遠山沉默地聽著曲慧的介紹，終於明白了她的憂慮在哪。
??幾秒後，蘇遠山微笑著搖頭：“曲慧姐，其實你們已經很厲害了。”
??他這句話不是安慰人，而是真心這樣認為。
??雖然他很少直接去首都精科那邊，但各種支持從來都是不遺餘力的。要什麽協助給什麽協助，就算要機床，他也在前年的時候費盡周折地搞了一台。
??所以，雙工件台名義上是首都精科一個企業搞的技術，但實際上，卻是一個由原首都精密儀器研究所，遠芯，誌遠，清華這四方巨頭聯合進行的一次技術攻關。
??從陣容上，這個團隊就已經堪稱豪華了。
??要知道，搞機械，特別是精密機械，它不比搞程序設計。
??程序設計可以叫囂“隻有想不到，沒有做不到”，但機械設計還真是，你能想到，但基本上辦不到。
??雙工件台的構思說白了，就如曲慧所說的那樣，源自華羅庚老先生的統籌方法——就是在等待燒開水的過程中就把茶杯洗幹淨，茶葉拿出來丟進杯子裏，順便還擰著暖水壺在一旁等著，隻要水開，馬上就能泡茶，裝水，一氣嗬成。比等水開了再去找茶葉洗茶杯要節約很多時間。
??但真要實現起來卻不簡單，畢竟這是兩個工件台的協同配合，而且要保持高速運動下的0.5微米的運動精度——其難度相當於在兩架並肩飛行的飛機上，其中一架飛機伸出一根杆子，在對麵的機身上刻0.5微米大小的字。
??至於為什麽曲慧會在取得如此的成果後依舊保持冷靜乃至憂慮……蘇遠山完全能夠理解。
??因為曲慧剛出校門就進入了遠芯，親自參加了EDA的誕生，又親眼見證了遠芯在各個領域的崛起。
??說白了，就是曲慧所參與，所看到的，全是世界頂級的技術成果。
??雙工件台雖然出來了，卻無法給國產光刻機帶來本質上的技術飛躍。
??她不甘心。
??“這樣，曲慧姐，我給你指一條方向。”蘇遠山不知道雙工件台技術接下來要具體往哪一邊走，但蘇遠山卻知道雙工件台的未來在何方。
??“嗯？你說什麽方向。”
??“目前工件台的最大難點還是在於高速運動下所導致的一係列麻煩，所以……如果要把目光瞄準到十年，二十年之後，瞄準到納米級精度的話，我認為，隻有一條路，就是磁懸浮。”
??“磁懸浮？”曲慧聞言一怔，直愣愣地望著蘇遠山。
??鄭振川也驚訝起來：“小山，磁懸浮能用在工件台上？”
??“不是磁懸浮能用在工件台上，而是工件台要擺脫摩擦和阻尼的桎梏，實現超精密運動控製，在現有的自然科學和機械空城的框架下，就隻有磁懸浮這一條路。”
??曲慧沉默數秒後慢慢點頭，喃喃道：“是了，磁懸浮技術可以最大作用地發揮我們的運動控製模塊的優勢，避開短板。”
??“可是，那個難度怕是有點大吧？現在有沒有超精密的磁懸浮運動控製案例和方案？”鄭振川則想了想，遲疑地問道。
??“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口氣，整個人瞬間振奮了起來，望向蘇遠山道：“小山，你真覺得那是個方向？”
??“我能想到的唯一方向。”蘇遠山鄭重點頭。
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??有了新方向的曲慧再無心交談，轉而去蘇遠山的書架翻了一本物理書來看。
??見曲慧這模樣，蘇遠山也在心裏暗暗發笑——曲慧別看已經三十歲了，可長期以來身處科研一線，身份身家都無與倫比，以至於心態還是小姑娘心態。
??“鄭叔，怎麽說？”蘇遠山起身給鄭振川斟滿茶水，笑嗬嗬地問道：“你別告訴，你是來推銷光刻機的。”
??“嗯，還真是。”鄭振川從剛才蘇遠山口中的磁懸浮工件台的設想中回過神來，笑著道：“我們拿到了蔡司的鏡頭和Cymer的KrF光源，接下來就能量產最低0.18微米工藝節點的光刻機了。”
??“我靠！”
??蘇遠山眼珠子一瞪，差點沒從沙發上彈起來：“怎麽拿到的？”
??“嗬嗬，別激動。”鄭振川好整以暇地抿了一口茶：“怎麽樣，要不要來兩台？”
??“等等！”蘇遠山馬上便清醒過來：“別拿空頭支票來忽悠我，先說清楚，什麽時候可以可以出廠。”
??“最多半年。”
??聽到這個半年，蘇遠山又默默地算了一下自家光源的時間，這才慢慢平靜下來，笑著罵了一句：“NND，帝國主義亡我之心不死。”
??“是啊……但這樣好歹能把咱們的光刻機與尼康佳能的距離縮到隻有一代了，對吧？”
??“嗯，這倒是。”
??蘇遠山含笑望著鄭振川，突然越看越覺得這老頭有點像“買辦”了。
??很顯然，在這個時候，蔡司和Cymer突然對國產光刻機放行，除了有霓國同行的競爭之外，還有就是有把國內的光源和鏡頭技術“扼殺”在搖籃的想法。
??要知道，他們給的光源和鏡頭，可不是最先進的……
??Cymer都已經搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。
??“不過鄭叔，我們已經預定了尼康最先進的DUV光刻機，他們的節點可是能夠到65納米。”蘇遠山一聳肩，嗬嗬笑道：“差不多半年。”
??“……”鄭振川便帶著一臉哀怨地看著蘇遠山：“當初你說好要支持的呢？”
??“我當然一直都是支持的，但這事兒我做不了主啊鄭叔。你不應該找我，而是應該去找德遠的張博士。”
??說著蘇遠山便疑惑起來：“不對，鄭叔……無錫那麽多晶圓廠，為什麽你不去找他們？”
??遠芯在光刻機，晶圓廠的戰略方向一直很明確，就是以保持製程和工藝的領先——換言之就是設備上不能落後。
??光刻機自然要支持，甚至還要大力支持。但錢可以出，在有選擇的情況下，買一堆落後的產品，這事兒卻是不能幹的。
??國家也認同遠芯的發展，因此從來把希望寄托在遠芯身上，繼而讓華晶，華鑫，首晶等新老國有控股的晶圓廠大力采購國產光刻機，用以扶持。
??所以鄭振川找蘇遠山，是沒找對門。
??“因為每個企業都有追求。”這時曲慧抬起頭，悠悠地來了一句。
??蘇遠山便望向鄭振川，隻見後者的表情已經變得苦澀了起來。
??鄭振川沉默幾秒後，發出了一聲輕歎：“國外同行在今年開了不少口子，國內的晶圓廠，隻要有錢，基本上都能買到KrF的光刻機……”
??“現在國家上上下下都在講市場化，就算上麵再支持我們，也不可能說強製下行政命令讓企業隻買我們的光刻機吧？”
??“而且……我們的光刻機……確實，我承認，穩定性比起國外同行差了一點。但我們起步晚，這是很正常的，總要給我們一點時間進步和完善，對吧？”
??“現在倒好，隨著國外解禁，國內企業又開始有錢了……再加上國家一直在推動無錫那邊的產業升級，成立了以華晶為首的半導體聯盟。旨在提高整個國內半導體行業的元器件自產率和製程升級……所以，我們在目前落後兩代的情況下，確實有點難搞。”
??“現在無錫那邊，已經有人在詆毀說咱們的光刻機這不行，那不行……還不如多花點錢買ASML和尼康佳能。”
??“在那些人眼裏，晶圓廠就是印鈔廠，光刻機就是印鈔機，就算再貴，隻要夠先進，能穩定運行，那印到後麵就是印的鈔票。”
??靜靜地聽鄭振川說完，蘇遠山意識到，曆史的走向已經完全改變了。
??但有一樣還是沒變。
??造不如買的思想沒變。
??——事實上，造不如買不僅僅是一種思想，而是一個持續在整個工業化進程中的現象。
??原因很簡單，機械設備領域，確實不如別人。
??工欲善其事，必先利其器。
??哪怕它再貴，穩定性和效率依舊壓倒一切。
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