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第1061章 什麼是浸液系統

  這樣的話,當然當不得真的,大家也權當一樂。不過,現場的氣氛更加活躍,目的達到了。

  待菜全部上齊,酒也開好后,食堂的工作人員離開,龍建華這才說道,「章總剛才開了一個頭,把問題拋出來了,大家邊吃邊聊,把下一步的工作思路說說。」

  章中牟笑道,「我剛才還沒講完,被他們這些要喝酒的傢伙引偏了。這個晶元出來,意味著電子技術會跨出一大步,從電腦到手機到數字微波爐的產品,都會更新換代。」

  林博士點頭,「這一點是毋容置疑的。研究院那些研究所,接下來會有很多工作要做。有大量的產品要升級,甚至有全新的產品出現。」

  黎賽普把嘴裡的食物咽下,「這一點,研究院已經有很多思路,有的甚至已經動手,就等升級的晶元出現。各位等著吧,一個月內,準備將自己家裡的家電升級換代。」

  劉芷菲笑道,「身在重世集團,真的有些悲哀。經常出現新產品,看到技術水平有突破性,馬上就想換。我們家的家電,都不知道換了幾茬。」

  章中牟哈哈大笑,「劉教授,你們家就應該帶頭消費。你們不但應該是忠誠客戶,還應該是死忠粉。不過,這一次沒必要馬上換,因為這只是過渡性技術。林博士,龍博士,是不是?」

  林博士點點頭,「我們這次用的只是最簡單的液體,是檢驗這個思路可不可行。這些東西都是龍博士製作出來的,她已經選擇了一些方向,準備接下來繼續試驗。」

  筠研點點頭,「經過推算,下一步的波長會低於100nm。這樣的話,晶元處理能力更強,產品會更加先進,功能更加強大。」

  他們兩個是這款光刻機設計的主要人員,他們兩人講話,其他人都仔細聽著。

  她繼續說道,「這個進程是綜合性很強的。這次能製作出這種晶元,得益於配套技術已經成熟,比如ArF 準分子激光、光刻膠、刻蝕機等能滿足要求;如果再短,這些配套產品不一定能滿足,最明顯就是刻蝕系統、對準系統對於精度控制要求更高。」

  「我們的光刻機,下一步需要在支持基片的尺寸範圍、解析度、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等進行全方位升級。」

  「這些性能指標中,只有光源波長和我們沒關係,其它都是我們光刻機研究所的研究內容。」

  「我們都親身經歷了這次製作157nm,也發現很多問題。這次的有些改造能滿足157nm的,但肯定不能滿足更低波長的,所以我們下一步的任務很艱巨。」

  劉芷菲偏頭在龍建華耳邊輕聲說,「筠研張嘴就是一套套的專業名詞,顯得高深莫測。」

  龍建華輕輕一笑,「你跑到人家專業團隊里來,能聽懂幾個就很不錯了。」

  她輕哼一聲,又坐正邊吃邊聽各人的發言……

  157nm晶元的推出,雖然無論研究院還是集團都沒對外宣傳,但還是有小道消息傳出,馬上引發業界震驚。

  因為目前採用都是ArF 準分子激光,其波長是193 nm,大家在這個階段停留的時間已經很久了;忽然之間出現157nm,等於突破了這一關口,意味著相關技術都取得了突破。

  這個消息,讓一大片人震驚,也讓一大片人激動,更讓一些人感覺有點酸,還讓一些人很惱火。

  有媒體來預約採訪,可得到的答覆要等十天,因為研究團隊現在很忙。

  他們當然很忙。

  這裡要申請專利,今後的思路也有可以申請專利的,也要組織編寫。

  還要對未來的研究還要討論。那晚吃完飯後,整個團隊放假三天,這三天不是沒任務的,而是只有支配時間,但三天後要進行接下來的項目討論。

  這一討論就是三天……

  這三天中,有人猜測,重世研究院一定是採用了F2準分子激光,這種激光器的波長更短。不過他們也很疑惑,這種激光器剛剛發明不久,相對ArF 準分子激光而言,光刻困難、成本高、而且易損壞,在抗蝕劑、高精度對準方面還有許多問題尚未解決。

  猜測過後,他們感到無比震驚。有小道消息傳出,說明不會有假,難道他們已經把這些問題解決了?亦或是,他們為了產出157nm的晶元,不計成本與代價?

  同行中,很快有廠家開始對F2準分子激光器的應用進行研究,試圖在使用該激光器上跟進,不致被重世集團甩得太遠。

  也有同行穩如泰山,想看重世集團到底是通過什麼工藝生產出157nm的晶元……

  作為後來者,有時候是很悲哀的。先行者不把技術公布出來,他們的那層紙就捅不破,只能眼睜睜地看著人家佔領市場。

  作為先行者,壓力也是很大的。投入巨額資金搞研發,如果能率先搶佔市場、把研發成本收回還好;如果中間被人家截胡,會導致血本無歸;如果迅速被人家模仿,把市場搶佔過去,那會被氣得吐血。

  重世研究院也好,重世集團也罷,在這方面做得還是很好的,並且是越來越好。通過法務和安保日常性的檢查,對有可能產生紕漏的地方進行查缺補漏,可以產生的漏洞越來越少。

  龍建華之所以低調,但又不怕人家通過各種明面手段來對付他,就是合理利用了法律。只要是講道理的,他就不會害怕……

  在新聞發布會上,全球記者第一時間知道了一個名字——浸液系統。在使用ArF 準分子激光器時,增加一套浸液系統,使得157nm波長可以順利實現。

  全球晶元行業馬上知道了「浸液系統」這個名字,也知道光源並未改變。

  那些很快決定對F2準分子激光器進行應用研究的同行,看到這個新聞,臉色鐵青;那些穩如泰山的,看到這則新聞后,慶幸沒有胡亂決策。

  不過,他們都同時想到一個問題,什麼是浸液系統?

  在重世研究院新聞發布會上,竟然沒有解釋什麼浸液系統。

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