839 最後的戰役（二）

  滬市，張江技術園區。

  中微半導體總部的四周，布置了密密麻麻的電網和監控器，安保力量更是配備齊全。

  一座不起眼的工廠里，沙領導、鄭韓等一眾領導，在陸飛的帶領下，來到車間外。

  隔著玻璃窗，就能看到一個巨型公交車大小的光刻機，身穿防塵服的工作人員正在操控這樣的龐然大物，一個工作台完成掃描曝光的同時，另一個工作台也進行對準、調焦、下片等行動。

  「因為晶元製造的過程中，並不是一次曝光就可以完成，而是需要經歷多次曝光。」

  「在曝光完一個區域之後，放置硅晶圓的曝光台就必須快速進行移動，接著曝光下一個需要曝光的區域，想要在這麼多次快速移動中實現納米級別的對準，雙工作台就必須做到精度高而且操作時間短，這項技術本來只有ASML有，但現在已經被我們突破了。」

  陸飛滔滔不絕，如數家珍。

  領導們一言不發，目不轉睛地盯著運行中的光刻機，雖然不是第一次見到光刻機，但一想到這是第一台國產的DUV浸潤式光刻機，都壓不住激動的心情，儘可能地往前靠，想湊得更一些，看得更清楚一些。

  「了不起啊，小陸，你們了不起啊。」

  沙領導滿意道：「我記得是7年前還是8年前，也是在這裡，你讓我看的是65nm乾式光刻機，還向我保證絕對能搞出屬於我們自己的國產的浸潤式光刻機，我本來以為要花10年甚至更長的時間，沒想到你給了我們一個大大的驚喜啊！這麼快讓你們搞出來了！」

  「哪裡，哪裡，領導。」

  陸飛露出謙虛而內斂的笑容。

  「說說吧，到底是怎麼搞出來的？」

  沙領導眼裡滿是讚賞之色。

  「其實這並不是邏輯和中微兩家的功勞，我們只負責整體的統籌調度和集成研發。」

  陸飛笑道：「DUV浸潤式光刻機能成功，完完全全歸功於參與到整個項目的全體員工、科研人員們，是他們的血汗和信念，才有了今天的光刻機，當然也離不開領導們的支持，地方上的政策，還有相關公司、院校、國企單位的合作。」

  頓了頓，「可以說，這台DUV浸潤式光刻機凝結了華夏半導體從業人員的智慧和野心，也代表著目前國內光刻機的最高水平，距離國際一線的EUV光刻機，只有一代的代差了。」

  「生產7nm的良品率是多少？」

  鄭韓臉上掛著得意的笑容。

  畢竟，如此國之重器出自張江技術園區，滬市毫無疑問當得上「華夏半導體之都」。

  「不同的晶元不同的良率，但基本能穩定在70%，慢慢調試改進，可以達到80%。」

  陸飛比比畫畫道：「完全可以比肩AMSL，只用4個光罩、4次曝光，就可以達到7nm製程工藝。」

  沙領導問道：「現在邏輯和華為的手機用的都是7nm製程工藝的晶元對嗎？」

  陸飛點了下頭，「沒錯，7nm是目前市面上最先進的製程工藝，不過根據摩爾定律，再過個一兩年，就可能突破到5nm。」

  「5nm是不是就需要EUV光刻機了？」

  鄭韓好奇道。

  「有EUV光刻機固然是好，只要一次曝光，一個光罩就能實現7nm、5nm，但沒有EUV光刻機也無妨，有這台DUV浸潤式光刻機也可以做到。」

  陸飛露出個看似輕鬆的笑容。

  「喔？」

  頃刻間，一眾領導的目光齊聚於他。

  「梁博士想到的方案，如果把光刻機極限使用，經過6個光罩，9次曝光，也可以實現5nm工藝。」陸飛直截了當地回答。

  一個戴著玳瑁眼鏡的領導擔憂道：「光刻機這麼極限使用，會不會影響到使用壽命？」

  「還有良率。」

  「是啊，經過這麼多道曝光，任何一道工序失敗，都可能滿盤皆輸，成本就上來了……」

  領導們來回分析，議論紛紛。

  陸飛只能一一回答，「損害壽命肯定會損害，良率低也肯定會低一些，成本自然也就會高一點，但這是沒有辦法的辦法，目前EUV光刻機國產化要實現徹底突破，還有不少技術難題擺在面前，需要時間去攻破。」

  「比如呢？」

  沙領導投去問詢的目光。

  「光刻機的技術難點主要集中在光源、反射鏡、工作台，現在雙工作台已經解決了，光源問題也突破了，就剩下物鏡系統。」

  陸飛直說道：「AMSL、尼康的光刻機用的是蔡司的技術，但蔡司願意賣給AMSL、尼康，但絕對不會出口給我們。」

  然後嘆了口氣，「沒辦法，我們只能從零開始，聯合長春光機、徠卡、華為等聯合研發，現在搞定了DUV浸潤式的物鏡系統，至於EUV的，恐怕需要很長一段時間。」

  「那這期間，復芯、中芯的晶圓代工，有沒有可能會被台積電、英特爾的差距拉大？」

  鄭韓皺了皺眉。

  「肯定會，但好在情況並不糟糕。」

  陸飛笑道：「雖然5nm是目前我們的極限，理論上而言，台積電、英特爾、三星這些有EUV光刻機的，製程工藝甚至可以衝擊到1nm，但得到的回報並不會太高。」

  不少領導感到奇怪，「為什麼這麼說？製程工藝難道不是越先進越好嘛？」

  「理論上是這樣，但事實是現在全球智能機領域已經有『性能過剩』的趨勢，搭載5nm晶元的手機體驗，未必就不如3nm，就會讓3nm及以下工藝陷入一種尷尬的地步，飆升的成本卻只得到微弱的性能提升。」

  陸飛嘿然一笑，「反倒是28nm、14nm和7nm這三個節點的工藝才是市場主流，特別是我們國內絕大部份的晶元需求，所以有了國產的DUV浸潤式光刻機，基本可以保證我們不會也不怕被卡脖子，也能保證支撐到我們研發出EUV光刻機的那一天。」

  眾人兩兩相望，相視一笑。

  確實，28nm是集成電路產能中劃分中低端跟中高端的分界線。

  除了對功耗要求比較高的 CPU、GPU、AI晶元外，其餘的工業級晶元用的都是28nm以上的技術，比如電視、空調、汽車、高鐵、火箭、衛星、工業機器人、電梯、醫療設備、智能手環、無人機……

  但現在，7nm，甚至不計任何代價，極限可以推到5nm，簡直是綽綽有餘。

  「你們在資金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有沒有什麼需要我們解決的？」

  沙領導慈眉善目。

  陸飛也不客氣，立馬張口。

  一個敢提，一個敢接。

  「我還有個提議，希望領導們能支持。」

  「說。」

  「是這樣，邏輯這些年一直跟水木大學開展了比較另類的秘密項目，那就是研究直接跳過光刻機，建立光刻廠和光刻車間。」

  「光刻廠和光刻車間？！」

  沙領導、鄭韓等人或多或少感到驚訝。

  「對，安裝和調試一台DUv光刻機需要至少一年的時間。」陸飛一本正經說，「而如果直接造光刻廠，把光刻機的整個供應鏈連接起來，就可以擺脫以往單台光刻機的生產模式，轉為流水線生產，根據不同的精度需求，大規模生產各類精度的光刻機，就能把光刻機，甚至晶元價格打下去，你們覺得怎麼樣？」

  「嘶～」

  現場技術領域的領導立刻竊竊私語起來。

  「多條路，就多種選擇，大膽去試，放手去干，我們永遠是你們的堅實後盾。」

  沙領導拍了下陸飛的肩膀。

  「是，領導！」

  陸飛語氣里夾著一絲興奮。

  「《科技日報》最近總結了35項制約我們製造工業的卡脖子技術，不知道你有沒有看到？」沙領導往工廠外走去。

  「看了。」陸飛立刻跟上。

  「有什麼感想？」沙領導追問。

  「看上去是35項，但實際情況並不對，有很多項目已經被邏輯攻克了，比如航空設計軟體、EDA設計軟體、觸覺感測器……」

  陸飛如實說：「有的正在被攻克，像激光雷達，我們就在為未來的智能駕駛系統量身定製商用級的激光雷達。」

  「我知道伱和邏輯這些年明裡暗裡已經做了很多，但這些都不是關鍵。」沙領導語氣認真道，「晶元才是重中之重，畢竟電動汽車、人工智慧這些個領域，都離不開晶元。」

  「如果真地卡脖子，也許暫時會是華夏半導體產業的黑暗，但長遠老看，何嘗不是我們國產半導體崛起的機會？」

  陸飛不以為然。

  想徹底圍堵華夏晶元的發展，但是卻給了國產一個機會，當「國產替代」形成了風潮，華夏半導體就會爆發巨大的潛能。

  邏輯多年的布局，就能迎來真正的風口！

  從光源系統到物鏡系統，從浸沒系統到雙工作台研發，從光刻膠到光掩模版，從光刻機缺陷檢測設備到塗膠顯影設備，不管是核心組件，還是配套設施，國產的都將慢慢起飛。

  「說得好。」

  沙領導笑道：「對了，你剛剛說安裝調試光刻機需要一年，那麼再加上製造，豈不是一台光刻機到真正投產，時間會超過一年？」

  陸飛點了下頭，「對，所以我們現在加班加點地趕製，爭取對邏輯和華為動手之前，能多造幾台就多造幾台。」

  鄭韓問道：「如果現在邏輯和華為就出現中興斷供的局面，你們又該怎麼辦呢？」

  「即使高通和其他供應商不向我們出售晶元，我們也不怕，邏輯早就預料到會有這麼一天，已經提前做好了備胎計劃。」

  「備胎計劃？」

  …………

  舊金山，黃金豪宅。

  「媽媽，為什麼爸爸這麼久都沒有來看我們？」混血的陸洋躺在床上，眨了眨眼睛。

  「他很快就會來看我們的。」

  伊凡卡一把拉上窗帘，走到床沿坐下，捧著兒子的額頭親吻了一口，「睡吧。」

  「晚安，媽媽。」

  「晚安。」

  看到他合上眼，伊凡卡關掉床頭燈，輕手輕腳地退出卧室，笑容立刻消失。

  就在此時，手機里收到了簡訊。

  一下子，直奔書房，裡面的裝修沒有變化，依舊保持了陸飛當初的設計，來到電腦前，就見《華盛頓郵報》、《紐約時報》等多家媒體已經報道了對邏輯和華為的制裁——

  邏輯和華為正式加入到清單！

  美利堅供應商集體斷供！

  「終於來了！」

  伊凡卡興奮不已，雖然自己知道陸飛絕對不會輕易地求饒，也不會像中興那麼容易對付，但又如何？無非是抵抗的時間長點而已！

  早晚，都得像中興一樣，乖乖來美。

  一念至此，她拉開最下方的抽屜，暗格里藏著一把鑰匙，餘光瞄了眼角落不起眼的小房間，推門而入，打開燈光，一道道曖昧的粉色和妖嬈的紫色交織在一起，照亮四周。

  牆壁上掛著許多玩具和cosplay服裝，該死的記憶立刻湧現而出。

  伊凡卡又想起了在這裡的點點滴滴，隨手取出一根散鞭，對著空氣狠狠地揮舞了兩下。

  頓時間，一聲聲破空聲乍響！

  緊接著，鞭子落在綁在十字架上的布偶身上，就見臉部貼了張「陸飛」的肖像照片。

  「啪啪啪！」

  「為什麼不來美利堅！」

  「難道我這個第一女兒，下嫁你個世界首富吃虧了嗎？我們兩個的結合，明明對誰都有利，甚至有希望成為old money的一員！」

  「陸，你個混蛋！」

  「為什麼你在美利堅，只留下這麼點不動產給我和孩子，就連勇士隊的股份也捨不得給我？！」

  伊凡卡像怨婦一樣，不斷狂舞著鞭子，彷彿眼前的「陸飛」布偶就是活的一樣，宣洩心中的不滿，特別當她想到陸飛持有的奈飛、蘋果、亞馬遜、特斯拉等美股竟然沒她的份。

  而且也沒有她孩子的份！

  但顯然完全忘了陸飛留給她的傳媒集團，可是囊括了電視台、報紙、電影、流媒體、漫畫、主題公園和度假村、周邊衍生品……

  更別提，臉書、推特、SpaceX的股份。

  「等你來美利堅，有你好看的！」

  「以前在這裡怎麼對我，我就怎麼對你！」伊凡卡氣喘吁吁，打得滿臉是汗。

  盡興之後，才重新封閉小黑屋。

  「呼～」

  伊凡卡把鑰匙放回暗格里，正準備關閉電腦，就見推特上帶著「邏輯」字樣的衝上熱搜。

  赫然是邏輯官宣，備胎計劃，啟動！

  「備胎」一夜之間全部「轉正」！

  (本章完)