713 搞出光刻機，挺直腰杆子（4k）

  「狼煙起，江山北望……」

  酒店裡，喝到爛醉如泥的高媛媛被手機鈴聲吵醒，迷迷糊糊地抬頭找了找，聲音來自床頭柜上的手機，但手機的主人，不見蹤影。

  「阿飛。」

  高媛媛強撐著下床，走路綿軟無力。

  「我在這兒。」

  陸飛打開浴室的大門，坦蕩地沖她笑了下，接過手機，「喂、欣姐。」

  高媛媛洗了把臉，然後脫掉衣服，走進淋浴間沖洗自己，流水聲嘩嘩作響。

  「好，好，10點我就出發。」

  陸飛坐在浴缸里，悠悠道：「欣姐，TVB這邊，就麻煩你陪媛媛處理了。」

  高媛媛聽到這話，精神大振，豎起耳朵。

  「……歐洲那邊，不用擔心，我已經讓布洛森24小時盯著，任何風吹草動都要彙報。」

  陸飛抹了一把臉。

  希臘的國債評級又被惠譽和標準普爾下調，降到了垃圾級，已經到了必須歐盟兜底的地步，終於把債務危機擴散到整個歐元區。

  收割歐洲的時刻，馬上就要到了！

  等兩人聊完掛斷電話，高媛媛才走出玻璃隔斷，幽幽說：「阿飛，我今天就不送你去機場了，唔，有點不舒服。」

  「誰讓你昨天喝了那麼多酒。」

  陸飛抓著她的手，拉入浴缸里。

  心疼之餘，不得不感慨高媛媛醉得真是時候，而且還不省人事，要不然也不能給自己創造機會，夜裡能跟曾麗單獨慶祝封后之喜。

  大滿貫最好的獎勵，自然也是大滿灌。

  」下次不會了。」

  高媛媛意味深長地白了眼，「曾麗姐她們有沒有跟你說今天坐你的飛機去鵬城。」

  「說了……嗎，我怎麼不知道。」

  陸飛一個激靈。

  「那我現在跟你說，你不會介意吧？」

  高媛媛得留下來，跟徐欣完成TVB最後的收購簽約儀式，楊蜜、景恬則繼續自己的好萊塢征程，而曾麗、劉師師她們回內地。

  「怎麼會。」

  陸飛笑道：「不過我聽說師師拍完《步步驚心》之後，狀態不對，有沒有這回事？」

  「蜜蜜、恬恬她們跟你說的吧。」

  高媛媛點了下頭，「師師可能陷進角色里還沒有出來，對吳奇龍的感情有點複雜。」

  「這可不符合我們『四小花旦』的造星計劃。」陸飛一本正經地說。

  「放心吧，虹姐已經警告過吳奇龍團隊。」高媛媛靠在他的懷裡，「早餐叫了嗎？沒有的話，吃了再走吧。」

  「當然吃了再走，不過呢，先吃你！」

  陸飛嘿然一笑，「把昨天的夜宵補上。」

  「嗚嗚嗚～」

  跟曾麗她們暫時分別，陸飛坐上車，馬不停蹄地趕到邏輯，孫紅軍早就在門口等候。

  「他們人呢？」

  「陸總，都在中心呢。」

  一行人驅車來到僻靜的三體實驗基地，沿途布滿了安保人員，路的盡頭是一間佔地上萬畝的新建廠房，表面看上去，非常不起眼。

  一下車，來到換裝間，陸飛就看到已經穿著防塵服的梁孟松、尹志堯，以及職工。

  蘇姿豐、胡煜華、孟婉舟這些邏輯的上將，即便半步踏入輪值董事會，也沒有資格第一時間參觀，消息還封鎖在最高統帥部一級。

  「陸總。」

  梁孟松、尹志堯等人喊了一聲。

  「走吧。」

  陸飛換好裝備，穿過走廊，牆壁上掛著華夏第一枚原子彈跟氫彈的當天報紙和照片。

  頭頂，懸挂著一條條橫幅，都是激勵士氣的口號語，其中最顯眼的莫過於——

  「搞出光刻機，挺直腰杆子！」

  「陸總，這就是我們自主研發的65nmArF乾式光刻機，由邏輯、滬市微電子、長春光機、華為等多家單位、上千家供應商聯合攻克，下一步就是預生產，在生產中不斷改進完善，然後逐步實現量產化。」

  孫紅軍興奮至極，「預計一到兩年，就能全部替代掉ASML和尼康的65nm光刻機。」

  「還是自己的機器香啊！」

  陸飛透過玻璃，看著工作人員有條不紊地操作，餘光里注意到尹志堯等人的情緒很不對勁，「這麼難得的好日子，你們怎麼看上去不是很高興啊，難道是光刻機還有什麼質量上的問題，或者技術上的缺陷？」

  「陸總，設備沒有問題，技術也沒有問題，就是……就是有一個壞消息……」

  尹志堯一臉為難。

  「什麼壞消息？」

  陸飛鼓勵道：「沒關係，說出來，不說出來，我們又怎麼想辦法解決呢？」

  「陸總，ASML研發出了全球第一台EUV光刻機，已經送到三星的研究機構預生產。」

  尹志堯無奈地嘆了口氣。

  「你看你，又急。」

  陸飛挑了挑眉，倍感意外，這麼湊巧！

  EUV光刻機的出現，相當於光刻機技術和設備正式發展到第五代，遙遙領先於他們。

  第一代光刻機是以436nm的g-line汞燈光源為主，只適用於5μm以上製程。

  之後出現了365nm的i-line汞燈光源的第二代光刻機，製程精度來到了350到500nm。

  這兩代都只能算是接近式光刻機，到了第三代掃描投影式光刻機，才實現了跨越式的突破，把最小工藝推進至150到250nm。

  他們生產的65nmArF乾式光刻機，算是第四代，也就是步進式投影式光刻機，製程工藝最高可以推進到65nm，想要更上一層——

  就得用到浸入技術，也就是讓鏡頭和矽片之間的空間浸泡於液體之中，在此基礎上，就有了四代半的浸入步進式投影式光刻機。

  本來，邏輯跟ASML這些國際一線的光刻機廠商，就只剩ArFi這麼個半代差距。

  但EUV光刻機一出現，又把這個差距拉到了至少1.5代，而且這個技術差距，不像製程工藝那麼好追，是整個產業鏈的全面落後。

  「不是我急，陸總，一旦EUV預生產成功的話，英特爾、三星、台積電也許不出三五年，就能得到EUV光刻機的生產線……」

  尹志堯話里無不透著焦慮。

  「尹教授，這台EUV，ASML、三星、英特爾、蔡司、台積電它們花了多久才研製出來？」陸飛透過面罩的玻璃，直直看去。

  「從林本堅提出浸潤式微影技術的理論，到現在，大概十三、十四年。」

  梁孟松站出來回答。

  「對嘛，這不就結了。」

  陸飛拍了拍尹志堯的肩膀，「EUV集歐美日韓這麼多全球最頂尖的半導體公司和人才，也要花13年的時間，何況是我們呢！」

  「陸總說的沒毛病！」

  孫紅軍機敏地當捧哏。

  「咱們研究起步晚，技術經驗積累少，人才還不夠不精，再加上特么的技術封鎖，能在這麼短的時間，攻克65nmArF乾式光刻機，就已經很不正常了，再快就該拍科幻片了。」

  陸飛笑道：「落後不可怕，可怕的是不追趕，你看我們現在，已經步入正軌了。」

  「可不是嘛，快趕上小霓虹了！」

  孫紅軍嘿然一笑。

  就像霓虹在新能源上梭哈錯了氫能，在光刻機路線上，不去梭哈濕刻法，而是全力押注干刻法，卻失敗了，白白耗費人力財力時間。

  今後，邏輯的光刻機就可以跟尼康、佳能競爭低端光刻機市場，先干翻了小霓虹！

  「所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先別急，ArFi會有的，EUV也會有的！」

  陸飛環顧四周，激勵士氣。

  「陸總！」

  尹志堯鄭重地點了下頭，他作為中微半導體的領軍人，非常清楚邏輯是兩條腿走路，既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機，又跟長春光機為主的科研所研究EUV光刻機。

  而且滿世界找幫手，比如徠卡。

  「老孫，這次的獎勵方案做出來了嘛？」

  陸飛側目望向孫紅軍。

  「已經擬出個初步方案，就等您來定。」

  孫紅軍應了一聲。

  「嗯，但凡這次參與光刻機項目的，哪怕是擰了個螺絲的，也要多發獎金！」

  陸飛雙手叉腰，「65nm有了，還怕沒有ArFi？沒有EUV？接下來我們就向32nm、28nm，甚至28nm以下的發起衝擊，不管是10年、20年，還是多長時間，也要搞出來！把這顆工業明珠給我摘下來，當彈珠賣！」

  「我就是怕耽誤了先進位程工藝的進程，畢竟我們買不到最先進的DUV光刻機。」

  尹志堯臉上露出一絲愧疚。

  「梁博士，你的意思呢？」

  陸飛把目光投向梁孟松。

  「陸總放心，難度肯定是有的，但我可以保證，32nm，今年下半年就能風險性試產。」

  梁孟松話鋒一轉，說出難題。

  晶元代工製造的過程非常複雜，需要多方面的技術和設備支持，就像14nm是個關鍵的分界線，28nm也是個關鍵的分界線。

  但設備還不是他最擔心的，他最擔心的是中芯被台積電打倒之後，下一個就輪到邏輯。

  「這種情況我不是沒有考慮。」

  陸飛擺了擺手：「所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產能放在台積電，就是讓章忠謀顧慮，既想對付我們，又怕失去我們的訂單。」

  「可按我對章忠謀的了解，肯定不會善罷甘休。」梁孟松憂心道，「另外還有三星……」

  陸飛笑道：「梁博士，三星現在的技術負責人還是蔣尚義，哪怕拿到了EUV光刻機，你覺得他有這個能力帶領三星衝擊製程嗎？」

  「沒有！」

  梁孟松想也不想，「沒這個可能！」

  「對嘛，就連40/45nm工藝，三星還是靠我們，很難說不會又在一個節點上卡住，難以突破。」陸飛嚴肅說，「這麼一比，台積電才是我們最大的敵人！不管現在，還是將來！」

  「台積電那邊計劃今年過渡到32nm，然後最早在明年轉向28nm，我們的進度並不比台積電慢。」梁孟松自信滿滿。

  「梁博士，假如，我是說假如，假如沒有最先進的代工廠給邏輯造晶元，假如邏輯還造不出比較先進的光刻機，假如……」

  陸飛把前世華為遭到的打壓說了一遍。

  「陸總，這種極限施壓情況下，也不是沒有辦法，可以考慮多重曝光技術。」

  梁孟松沉吟片刻，一一列出優缺點。

  尤其是缺點，雖然經過多重曝光工藝，可以改變光刻機的製程極限，但良品率低。

  而且每次曝光都需要校準，而對準誤差會在多次曝光中積累，進而影響晶元的質量。

  「除了損耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和設備，這個投入可能……」

  不等梁孟松往下說，孫紅軍突然打斷。

  陸飛和他相視一笑，光刻機的光刻膠等材料，早就納入備胎計劃。

  「梁博士、尹教授，我們已經投資了博康化學等十幾家公司，研發攻克光刻膠這些重要材料。」孫紅軍笑說，「而且找了德國的明斯特、亞琛工業等多家高校，跟我們國內的科研院校，合力打破霓虹這方面的優勢。」

  「啊？」

  梁孟松和尹志堯面面相覷。

  「這是公司的絕密，注意保密。」

  陸飛鄭重地叮囑，現在需要偷偷摸摸地發育，特別是光刻機，最缺的就是發育時間。

  「陸總，孫總，你們放心！」

  梁孟松信誓旦旦地保證，就算台積電、三星的光刻機領先邏輯，哪怕製程工藝先突破28nm，甚至20nm也無妨，他能想辦法從28nm，跨越22nm、20nm，直接到14nm。

  把因為光刻機設備和技術封鎖而落後的代差跟時間，統統給追回來！

  「是不是又要跳代？」

  陸飛把眼睛眯成一條縫。

  梁孟松點頭說：「只要尹總能造出28nm光刻機就夠了，別是14nm，就是7nm，我也能你們給搓出來！把光刻機上的劣勢給扳回來！就是不知道陸總敢不敢再跟我拼一次？」

  「有什麼不敢？」

  「拼，只管給我拼！不要給我心疼錢，我最不怕花錢，但最怕你們不花錢。」陸飛睨了眼孫紅軍，「老孫，除了德國，霓虹那邊也盯緊點，特別是佳能、尼康的動靜。」

  「尼康那邊好像認命了，倒是佳能，選擇了另一條道路，研究納米壓印（NIL）。」

  孫紅軍也說不出個所以然。

  陸飛讓他再探再報，跟進佳能的NIL路線，然後冷不丁來一句，「光刻廠有沒有搞頭？」

  「什麼？！」

  梁孟松等人一臉震驚。

  光刻廠？

  只聽過光刻機，光刻廠是什麼東西？

  「咳咳，我是這麼想的，ASML的光刻機，為了賣出去，才要小型化、產品化、量產化，這個難度很大，但如果我們把光刻機不做小，而是當基礎設施來蓋，比如一個足球場大小，是不是可以彌補光源、鏡片這些問題？」

  陸飛看他們一臉茫然，於是換種說法。

  相當於造不出熱水器，就建個鍋爐房，然後接水龍頭，一次性接十幾個，能放出428nm、14nm、7nm這些不同溫度的水。

  「這個提法，我好像在哪裡聽過……」

  梁孟松吸了一口氣，思索了片刻，突然靈光一現，「對，水木！水木大學有篇論文！」

  「真有？」

  孫紅軍、尹志堯簡直不敢相信。

  「不過只是一個概念，叫穩態微聚束加速器光源，也叫SSMB。」梁孟松解釋說，「我關注這個，還是因為提出這個概念的教授，是楊振檸先生的弟子，可行性還有待檢驗。」

  「只要有可能，就值得投資。」

  陸飛計劃去趟水木大學，順便把自己存那裡一直沒時間取的EMBA碩士證書給領了。

  「陸總，在這之前，我們是不是先去見見章汝京？章總一直在等您從香江回來。」

  孫紅軍提醒了句，年初中芯跟台積電長達六七年的國際訴訟，達成和解，但作為條件之一，章汝京不得不被迫辭職，離開中芯。

  「Emmm，見，必須見！」

  陸飛叮囑安排兩人見面的行程計劃。

  有個項目，非他這位老帥不可！