第226章 無法繞開的難題

  EUV光源的技術基本隻掌握在花旗國Cymer公司手中，星光科技公司作為一家華夏公司，基本上不可能與対方達成技術合作，因為花旗國政府，就不會同意。


  EUV光刻機——頂級科學與頂級製造的結合。


  EUV波長隻有13.5nm，穿透物體時散射吸收強度較大，這使得光刻機的光源功率要求極高，此外機器內部需是真空環境，避免空氣對EUV的吸收，透鏡和反射鏡係統也極致精密，配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也需要更先進技術去提升。


  一台EUV光刻機重達180噸，超過10萬個零件，需要40個集裝箱運輸，安裝調試都要超過一年時間。總之，EUV光刻機幾乎逼近物理學、材料學以及精密製造的極限。


  所以EUV不僅是頂級科學的研究，也是頂級精密製造的學問。


  二零一零年首發EUV光刻機，目前成為全球唯一一家EUV光刻機供應商。


  二零一零年，阿斯慢首次發售概念性的EUV光刻係統NXW:3100，從而開啟光刻係統的新時代。


  二零一三年，阿斯慢發售第二代EUV係統NXE:3300B，但是精度與效率不具備10納米以下製程的生產效益。


  今年又推出了第三代EUV係統NXE:3350，但仍然隻是試產的性質。


  曆史上，阿斯慢公司要到明年，也就是二零一六年，第一批麵向製造的EUV係統NXE:3400B，才會開始批量發售，

  NXE:3400B的光學與機電係統的技術有所突破，極紫外光源的波長縮短至13nm，每小時處理晶圓125片，或每天可1500片。


  連續4周的平均生產良率可達80%，兼具高生產率與高精度。


  三年後推出的NXE:3400C，更是將產能提高到每小時處理晶圓175片。


  目前，阿斯慢在售的EUV光刻機包括NXE:3300B和NXE:3400C兩種機型。


  EUV成功來源於阿斯慢光刻機上遊產業鏈的貫通。


  在EUV光刻機超過10萬個零件之中，來自矽穀光科集團的微激光係統、德國蔡司的鏡頭和Cymer的EUV光源是最重要的三環。


  一九九七年英特爾牽頭創辦了EUVLLC聯盟，隨後阿斯慢作為惟一的光刻設備生產商加入聯盟，共享研究成果；二零零零年，阿斯慢收購了花旗國光刻機巨頭SVGL(矽穀光刻集團)；二零一二年，阿斯慢收購EUV光源提供商Cymer，此前Cymer就和阿斯慢已經合作已久。


  二零一六年，阿斯慢公司取得光學鏡片龍頭，德國蔡司百分之二十四點九的股份，以加快推進更大數值孔徑（NA）的EUV光學係統。


  這些收購使得阿斯慢幾乎參與了整個EUV光刻上遊產業鏈。


  但收購花旗國企業的過程，使阿斯慢必須同意，在花旗國建立一所工廠，和一個研發中心，以此滿足所有花旗國本土的產能需求。


  另外，還需要保證百分之五十五的零部件，均從美國供應商處采購，並接受定期審查，這也為日後阿斯慢，向華夏國出口光刻機受到花旗國管製埋下了伏筆。


  EUV設備在下遊市場供不應求。由於上遊零部件供應不足（如蔡司的鏡頭），阿斯慢的EUV光刻機產量一直不高，而下遊市場對7nm製程的需求卻十分旺盛。2011年英特爾、三星和台急電共同收購阿斯慢23%的股權，幫助阿斯慢提升研發預算，同時也享受EUV光刻機的優先供應權。


  近年來，阿斯慢已經出貨的EUV光刻機主要優先供應給台積電、三星、英特爾等有緊密合作關係的下遊廠商。目前所有中國企業中，還沒有任何一家企業，能夠從阿斯慢訂購到EUV光刻機。


  而且此時的華夏企業，對於阿斯慢的EU∨光刻機，似乎並沒有很迫切的需求，畢竟阿斯慢公司的浸潤式DUV光刻機，並沒有停止出口華夏市場，而且星光科技集團也能生產DUV浸潤式的光刻機，完全可以滿足國內的需求。


  至於10納米以下的製程工藝，華夏國內的市場需求銀少，所以更高端的極深紫外線EUV光刻機，華夏國內的市場需求並不迫切。


  可是全球智能化科技，是在飛速發展的，隨著科技的發展，人民對於芯片的要求會越來越高，幾年之後，全球會向5G，甚至6G技術發展，那個時候要用到的智能芯片，必須要用5納米以下的製程技術，甚至是1納米的製程技術。


  那個時候，再怎麽研究推進，浸潤式DUV光刻機，也不可能達到5納米以下的製程技術。


  研發投深紫外線暴光技術的EUV光刻機，便是最終無法繞開的辦法。


  可是華夏的光刻機研發生產企業，除了一個星光科技集團，就隻有滬上的微電子集團了。


  可微電子集團的光刻機技術，比星光科技集團尚且差了不少的距離，更別說和國外的幾大光刻機企業相比了，微電子集團的光刻機技術，現在還停留在90納米的製程工藝上。


  星光科技集團，集中了數以千計的科技研發人員，想要在EUV光刻機技術上有所突破，打破阿斯慢公司的技術壟斷，追趕上阿斯慢，造出一台符合5納米製程以下的EUV光刻機，並不是件很容易的事情，甚至連能不能辦到，都是一個未知數。


  這並不是開玩笑，有些技術難題，不是說你努力了，你不計成本的砸了資金進去，就一定能夠成功的。


  看看阿斯慢研究出EUV光刻機技術的過程，便十分的清楚了。


  如果沒有花旗國科研力量的貢獻，沒有歐美各國一些公司的技術支持，阿斯慢也研發不出EUV光刻機。


  可以不客氣的說，EUV光刻機不是阿斯慢一家公司，單獨研究出來的結果。


  而且這個研發完善的光程，也長達十幾年之久。


  星光科技公司再怎麽曆害，不缺科技研發人才，不缺研發資金，但想要研發出EUV光刻機的技術，也是比登天還難。


  關鍵是上遊的產業鏈，華夏國內根本無法具備，必須要依賴進口。


  而想要進口這些高精技術，往往又受到了歐美各國的技術封鎖，你有錢也未必能買到。


  最穩妥的辦法，就是在國內尋求一些這方麵的企業合作，投入資金和技術人員，提升這些企業的技術，力求達到能夠生產出，供應星光科技集團，研發生產EUV光刻機的技術要求。


  另外就是尋求國家層麵的技術支持，畢竟泱泱華夏，集全國之力，想要研發出一項技術，比星光集團一個企業的力量，不知道要大多少倍。


  星光科技集團辦不成的事情，國家出麵，由國家的一些科學家研究出來，還是比較容易的。


  在國家一窮二白的時候，尚且能研發出二彈一星，現在的條件比以前，要強了不知道多少倍，全力想研發出一項科研成果，應該是沒有什麽問題的。