第226章 無法繞開的難題
EUV光源的技術基本隻掌握在花旗國Cymer公司手中,星光科技公司作為一家華夏公司,基本上不可能與対方達成技術合作,因為花旗國政府,就不會同意。
EUV光刻機——頂級科學與頂級製造的結合。
EUV波長隻有13.5nm,穿透物體時散射吸收強度較大,這使得光刻機的光源功率要求極高,此外機器內部需是真空環境,避免空氣對EUV的吸收,透鏡和反射鏡係統也極致精密,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也需要更先進技術去提升。
一台EUV光刻機重達180噸,超過10萬個零件,需要40個集裝箱運輸,安裝調試都要超過一年時間。總之,EUV光刻機幾乎逼近物理學、材料學以及精密製造的極限。
所以EUV不僅是頂級科學的研究,也是頂級精密製造的學問。
二零一零年首發EUV光刻機,目前成為全球唯一一家EUV光刻機供應商。
二零一零年,阿斯慢首次發售概念性的EUV光刻係統NXW:3100,從而開啟光刻係統的新時代。
二零一三年,阿斯慢發售第二代EUV係統NXE:3300B,但是精度與效率不具備10納米以下製程的生產效益。
今年又推出了第三代EUV係統NXE:3350,但仍然隻是試產的性質。
曆史上,阿斯慢公司要到明年,也就是二零一六年,第一批麵向製造的EUV係統NXE:3400B,才會開始批量發售,
NXE:3400B的光學與機電係統的技術有所突破,極紫外光源的波長縮短至13nm,每小時處理晶圓125片,或每天可1500片。
連續4周的平均生產良率可達80%,兼具高生產率與高精度。
三年後推出的NXE:3400C,更是將產能提高到每小時處理晶圓175片。
目前,阿斯慢在售的EUV光刻機包括NXE:3300B和NXE:3400C兩種機型。
EUV成功來源於阿斯慢光刻機上遊產業鏈的貫通。
在EUV光刻機超過10萬個零件之中,來自矽穀光科集團的微激光係統、德國蔡司的鏡頭和Cymer的EUV光源是最重要的三環。
一九九七年英特爾牽頭創辦了EUVLLC聯盟,隨後阿斯慢作為惟一的光刻設備生產商加入聯盟,共享研究成果;二零零零年,阿斯慢收購了花旗國光刻機巨頭SVGL(矽穀光刻集團);二零一二年,阿斯慢收購EUV光源提供商Cymer,此前Cymer就和阿斯慢已經合作已久。
二零一六年,阿斯慢公司取得光學鏡片龍頭,德國蔡司百分之二十四點九的股份,以加快推進更大數值孔徑(NA)的EUV光學係統。
這些收購使得阿斯慢幾乎參與了整個EUV光刻上遊產業鏈。
但收購花旗國企業的過程,使阿斯慢必須同意,在花旗國建立一所工廠,和一個研發中心,以此滿足所有花旗國本土的產能需求。
另外,還需要保證百分之五十五的零部件,均從美國供應商處采購,並接受定期審查,這也為日後阿斯慢,向華夏國出口光刻機受到花旗國管製埋下了伏筆。
EUV設備在下遊市場供不應求。由於上遊零部件供應不足(如蔡司的鏡頭),阿斯慢的EUV光刻機產量一直不高,而下遊市場對7nm製程的需求卻十分旺盛。2011年英特爾、三星和台急電共同收購阿斯慢23%的股權,幫助阿斯慢提升研發預算,同時也享受EUV光刻機的優先供應權。
近年來,阿斯慢已經出貨的EUV光刻機主要優先供應給台積電、三星、英特爾等有緊密合作關係的下遊廠商。目前所有中國企業中,還沒有任何一家企業,能夠從阿斯慢訂購到EUV光刻機。
而且此時的華夏企業,對於阿斯慢的EU∨光刻機,似乎並沒有很迫切的需求,畢竟阿斯慢公司的浸潤式DUV光刻機,並沒有停止出口華夏市場,而且星光科技集團也能生產DUV浸潤式的光刻機,完全可以滿足國內的需求。
至於10納米以下的製程工藝,華夏國內的市場需求銀少,所以更高端的極深紫外線EUV光刻機,華夏國內的市場需求並不迫切。
可是全球智能化科技,是在飛速發展的,隨著科技的發展,人民對於芯片的要求會越來越高,幾年之後,全球會向5G,甚至6G技術發展,那個時候要用到的智能芯片,必須要用5納米以下的製程技術,甚至是1納米的製程技術。
那個時候,再怎麽研究推進,浸潤式DUV光刻機,也不可能達到5納米以下的製程技術。
研發投深紫外線暴光技術的EUV光刻機,便是最終無法繞開的辦法。
可是華夏的光刻機研發生產企業,除了一個星光科技集團,就隻有滬上的微電子集團了。
可微電子集團的光刻機技術,比星光科技集團尚且差了不少的距離,更別說和國外的幾大光刻機企業相比了,微電子集團的光刻機技術,現在還停留在90納米的製程工藝上。
星光科技集團,集中了數以千計的科技研發人員,想要在EUV光刻機技術上有所突破,打破阿斯慢公司的技術壟斷,追趕上阿斯慢,造出一台符合5納米製程以下的EUV光刻機,並不是件很容易的事情,甚至連能不能辦到,都是一個未知數。
這並不是開玩笑,有些技術難題,不是說你努力了,你不計成本的砸了資金進去,就一定能夠成功的。
看看阿斯慢研究出EUV光刻機技術的過程,便十分的清楚了。
如果沒有花旗國科研力量的貢獻,沒有歐美各國一些公司的技術支持,阿斯慢也研發不出EUV光刻機。
可以不客氣的說,EUV光刻機不是阿斯慢一家公司,單獨研究出來的結果。
而且這個研發完善的光程,也長達十幾年之久。
星光科技公司再怎麽曆害,不缺科技研發人才,不缺研發資金,但想要研發出EUV光刻機的技術,也是比登天還難。
關鍵是上遊的產業鏈,華夏國內根本無法具備,必須要依賴進口。
而想要進口這些高精技術,往往又受到了歐美各國的技術封鎖,你有錢也未必能買到。
最穩妥的辦法,就是在國內尋求一些這方麵的企業合作,投入資金和技術人員,提升這些企業的技術,力求達到能夠生產出,供應星光科技集團,研發生產EUV光刻機的技術要求。
另外就是尋求國家層麵的技術支持,畢竟泱泱華夏,集全國之力,想要研發出一項技術,比星光集團一個企業的力量,不知道要大多少倍。
星光科技集團辦不成的事情,國家出麵,由國家的一些科學家研究出來,還是比較容易的。
在國家一窮二白的時候,尚且能研發出二彈一星,現在的條件比以前,要強了不知道多少倍,全力想研發出一項科研成果,應該是沒有什麽問題的。